热场式场发射扫描电镜 SU5000
详细信息
高性能电子光学系统
· 二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)＊
· 高灵敏度: 高效PD-BSD, 超强的低加速电压性能，低至100 V成像
· 大束流(>200 nA): 便于高效微区分析
性能优异
· 压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 Pa)成像性能，配备高灵敏度低真空探测器(UVD)＊
· 开仓室快速简单换样(最大样品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
· 微区分析: EDS, WDS, EBSD等等
规格：
