扫描电子显微镜 SU3800/SU3900
①SU3900标配多功能超大样品仓,可应对大型样品的观察
■样品台可搭载超大/超重样品
· 通过更换样品提示,可防止由于与样品的接触而损坏设备或样品
· 选配样品交换仓,可在主样品仓保持真空的状态下快速更换样品,大大提高了工作效率
· 具备样品台移动限制解除功能,提高了自由度*
· 红外CCD探测器,提高了样品台移动的安全性
■支持全视野移动。SEM MAP支持超大样品的全视野观察
· 与GUI联合,可配备样品仓室导航相机
· 覆盖整个可观察区域
· 支持360度旋转
②随着各种自动化功能的强化,操作性能得到了进一步优化。
· ■一个鼠标就能够轻松操作的简约GUI
· ■各种自动化功能
· 自动调整算法经改良后,等待时间减少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
· 提高了自动聚焦精度
· 搭载Intelligent Filament Technology(IFT)
· ■Multi Zigzag,可实现多区域的大视野观察
· ■Report Creator,可利用获得的数据批量生成数据报告
③可提供满足测试需求的应用解决方案
■可满足多种观察需求的探测器
· 搭载高灵敏度UVD*,支持CL观察
· 高灵敏度半导体式背散射电子探测器,切换成分/凹凸等多种图像
■配备了多功能超大样品仓,可以搭载多种配件
■SEM/EDS一体化功能*
■三维显示测量软件 Hitachi Map 3D*
■支持图像测量软件Image pro
· *配件